Нанопоры: новое применение литографических машин ASML

Литографические машины ASML, широко известные в производстве полупроводников, теперь нашли неожиданное применение благодаря компании IMEC. Она обнаружила, что с их помощью можно создавать нанопоры — крошечные отверстия диаметром всего несколько нанометров, что в 10 000 раз меньше человеческого волоса. Эти нанопоры могут служить молекулярными контрольными точками для биомедицинских сенсоров, позволяя обнаруживать и анализировать отдельные молекулы, такие как вирусы, белки и ДНК, на основе генерируемых электрических сигналов. До этого момента производство таких пор было ограничено лабораторными условиями и требовало значительных затрат. Однако IMEC разработала метод массового производства с использованием EUV-литографии, позволяя создавать точные и однородные массивы нанопор на 300-миллиметровых пластинах из нитрида кремния. Это открытие может привести к внедрению новых диагностических технологий в медицинские учреждения и улучшению персонализированной медицины, а также снижению стоимости медицинских тестов.