Завод «Микрон» получил контракт на создание установки «Лучник»

Зеленоградский завод «Микрон», входящий в группу «Элемент», стал победителем тендера Минпромторга на проектирование автоматизированной установки «Лучник». Общая сумма контракта составляет 1,56 миллиарда рублей. Это оборудование играет ключевую роль в производстве микросхем, обеспечивая высокую точность наложения слоев при печати чипов на кремниевых пластинах. Основная задача — разработать отечественный аналог американской установки ARCHER 10 XT от KLA Tencor. Установка будет работать с пластинами диаметром 150 и 200 мм, обеспечивая точность наложения слоев до 130 нм и производительность не менее 75 пластин в час. В ней будут использованы интерферометры и алгоритмы машинного зрения для моментальной коррекции. Разработка включает сложные механические и оптические решения, а также высокотехнологичное программное обеспечение. Завершить проект необходимо до июля 2029 года. Завод «Микрон» будет одновременно разработчиком и пользователем установки, что позволит тестировать прототипы в действующих условиях, увеличивая шансы на успех проекта.